एसी और डीसी प्लाज्मा के बीच अंतर तरह वे उत्पन्न होते हैं.डीसी प्लाज्मा तथ्य यह है कि एक गैस दो इलेक्ट्रोड जो कि एक उच्च क्षमता पर्याप्त है के बीच आयोजित किया पर निर्भर करता है ionized जाएगा.प्रभाव डीसी चमक स्राव कहा जाता है.इलेक्ट्रॉन anode की ओर तेजी से होगा, कैथोड की ओर आयनों.यदि एक प्रवाहकीय सामग्री कैथोड पर रखा गया है, त्वरित आयनों सामग्री बौछार और एक प्रक्रिया को बढ़ावा मिलेगा बुलाया sputtering.यदि एक विसंवाहक इलेक्ट्रोड के बीच में रख दिया गया है, प्लाज्मा को डीसी परिस्थितियों में फार्म नहीं कर सकेंगे (एक संधारित्र के बारे में सोचो!) होगा.यहाँ, एसी (आवश्यक आमतौर आरएफ 10MHz रेंज - 14MHz में) है.इस वेफर्स के नक़्क़ाशी प्लाज्मा के लिए इस्तेमाल प्रक्रिया है.
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